Электронный учебник предназначен для сопровождения лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 7-м учебном семестре. В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение тонких пленок, магнетронное распыление).
Виртуальная образовательная среда «Moodle»
Электронный учебник размещен по адресу http://edu.isuct.ru в категории ТП и МЭТ (http://edu.isuct.ru/course/view.php?id=84). Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
