166

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Технология тонких пленок и покрытий», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в 6-м учебном семестре. Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Особенности роста тонких пленок

2. Вакуумные методы получения тонких пленок

3. Методы ионно-плазменного распыления

4. Методы нанесения композиционных покрытий