177

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и семинарских занятий по дисциплинам «Теоретические основы кинетики неравновесных процессов», читаемую аспирантам первого года обучения, «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», читаемую студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») на четвертом курсе. Учебник содержит мультидисциплинарный материал. Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Физико-химические свойства системы плазма - раствор.

2. Химическая активация растворов электролитов под действием газового разряда

3. Химические процессы, инициируемые плазмой в растворе

4. Возможности и перспективы плазменного инициирования технологических процессов в водных растворах.