Электронный учебник предназначен для сопровождения практических и семинарских занятий по дисциплине «Физическая химия неравновесных процессов», читаемой студентам направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» в 1-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены физико-химические основы технологий плазмохимической очистки и травления неорганических и полимерных материалов, показаны современные методы контроля и управление плазменными процессами.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
