В учебнике рассмотрены процессы образования активных частиц в плазме и их взаимодействия с поверхностью твердого тела, а так же технологические применения неравновесной плазмы для травления и модификации полимерных и неорганических материалов и некоторые методы контроля технологических процессов. Имеется терминологический словарь, контрольные тестовые задания для самопроверки и практические задания для индивидуального выполнения.
Содержание электронного учебного пособия соответствует требованиям ГОС и учебному плану подготовки бакалавров направления «Электроника и наноэлектроника».
ЭУИ разрабатывалось в виртуальной образовательной среде «Moodle»
Электронный учебник размещен по адресу http://edu.isuct.ru в категории ТП и МЭТ. Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
