Моделируюая программа предназначена для сопровождения лабораторно-практических занятий по дисциплинам «Техника высокого вакуума», «Технология материалов электронной техники» и «Технология материалов и покрытий», читаемым студентам специальности «Микроэлектроника и твердотельная электроника» в 6 и 7-м учебных семестрах и специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники» в 6 и 8 учебных семестрах. Данная программа позволяет изучить принципы работы на двухшлюзовой вакуумной установке, предназначенной для нанесения покрытий методом электронно-лучевого испарения. Она может быть использована как виртуальная лабораторная работа по курсу «Техника высокого вакуума», так и при самостоятельной подготовке студентов.
Delphi 6.0
Программа представляет собой один исполняемый файл, расположенной в одном каталоге с файлом справки. Программа не требует установки и готова к работе сразу после копирования на жесткий диск компьютера.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
