169

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторных занятий по дисциплине «Техника высокого вакуума», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») и направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология» (профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») в 6-м учебном семестре. Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Физика разреженных газов.

2. Элементы расчета вакуумных систем.

3. Основные средства откачки.

4. Измерение вакуума и течеискание.

5. Откачные вакуумные системы и принципы их конструирования.