182

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторных занятий по дисциплине «Процессы микро- и нанотехнологий», читаемой студентам направления подготовки 18.03.01 «Химическая технология», (профиль подготовки «Технология материалов и изделий электроники и наноэлектроники») и студентам  направления 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроникана» на четвертом курсе обучения.

Учебник содержит мультидисциплинарный материал, включающий статические (информационные страницы) и активные элементы (лекции, задания, опросы различного характера, включая эссе). Электронный учебник включает в себя следующие разделы:

1. «Основы молекулярной биотехнологии, генной инженерии и реплицируемых нанороботов», включая современные представления о трехмерной наноэлектронике, проблемах искусственного интеллекта и возможностей технологий NEMS и MEMS (раздел предназначен для самостоятельного изучения студентами с оцениванием в 25 баллов).

2. «Основные процессы микро и нанотехнологий», включая процессы:

• очистки подложек;
• эпитаксиального наращивания слоев материала;
• технологии получения защитных и маскирующих покрытий;
• фотолитографии;
• диффузии примесей в полупроводник;
• ионной имплантации.

Данный раздел сопровождает лабораторно - практические занятия.