Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторных занятий по дисциплине «Техника высокого вакуума», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре.
Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:
Откачные вакуумные системы и принципы их конструирования.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
