265

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных, лабораторных и практических занятий по дисциплине «Методы экспериментального исследования поверхности», читаемой студентам направления подготовки 18.04.01 «Химическая технология» (магистерская программа «Микро- и нанотехнологии в производстве изделий электронной техники») в 3-м учебном семестре.

Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Ионная спектроскопия поверхности
2. Электронная микроскопия
3. Рентгеновская спектроскопия и томография
4. Сканирующая зондовая микроскопия
5. Оптические спектральные методы исследования
6. Мессбауэровская спектроскопия

ИК спектроскопия МНПВО