322

Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных, лабораторных и практических занятий по дисциплине «Методы исследования поверхности твердого тела», читаемой студентам направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (магистерская программа «Микро- и нанотехнологии в производстве изделий твердотельной электроники») в 3-м учебном семестре.

Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия
2. Рентгенофлуоресцентный анализ
3. Рентгеноэмиссионный спектральный анализ
4. Ультафиолетовая фотоэлектронная спектроскопия
5. Ожэ-электронная спектроскопия
6. Электронная микроскопия
7. Десорбционная спектроскопия
8. Рассеяние медленных и быстрых ионов
9. Вторично-ионная масс-спектрометрия
10. Масс-спектрометрия
11. Инфракрасная спектроскопия
12. Спектроскопия комбинационного рассеяния