Электронный учебник предназначен для обучающихся по направлению подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» (профиль «Нанотехнологии и микросистемная техника», для изучения дисциплины «Корпускулярно-фотонные процессы и технологии» проводимой в 7-м учебном семестре.
Содержание электронного учебника соответствует требованиям ФГОС ВО по направлению подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
Рассмотрены физико-химические основы процессов корпускулярно-фотонных технологий, типовые установки, конкретные технологические процессы и примеры их реализации. Особое внимание уделено использованию лазерных, электронных и ионных процессов и технологий в электронной технике.
Электронный учебник размещен в категории ТП и МЭТ подкатегории 28.03.01 Нанотехнологии и микросистемная техника по адресу https://edu.isuct.ru/course/view.php?id=2647. Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
