Электронный учебник предназначен для сопровождения лекционных и лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 11.04.04 «Электроника и наноэлектроника» (магистерская программа «Микро- и нанотехнологии в производстве изделий твердотельной электроники») в 1-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (лазерный нагрев, термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, осаждение тонких пленок, магнетронное распыление).
Электронный учебник размещен по адресу http://edu.isuct.ru в категории ТП и МЭТ
(https://edu.isuct.ru/course/view.php?id=3007).
Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
