Электронный учебник предназначен для сопровождения лабораторно-практических занятий по дисциплине «Математическое моделирование технологических процессов», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в 8-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены современные методы моделирования и оптимизации технологических процессов в электронной технике (термическое окисление, диффузия, ионная имплантация, кинетика химических реакций).
Виртуальная образовательная среда «Moodle»
Электронный учебник размещен по адресу http://edu.isuct.ru в категории ТП и МЭТ
(https://edu.isuct.ru/course/view.php?id=2646).
Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
