389

Электронный учебно-методический комплекс предназначен для сопровождения лекционных и лабораторных занятий по дисциплине «Вакуумные технологические установки», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» (профиль подготовки «Микроэлектроника и твердотельная электроника») в 6-м учебном семестре.

Электронный учебник включает в себя следующие разделы курса:

1. Элементы расчета вакуумных систем.
2. Основные средства откачки.
3. Измерение вакуума и течеискание.
4. Откачные вакуумные системы и принципы их конструирования.
5. Методические указания для обучающихся по освоению дисциплины (модуля) по видам учебных занятий
6. Критерии оценки по видам учебных занятий при освоении дисциплины

Оценочные средства