Электронный учебник предназначен для сопровождения лабораторных занятий по дисциплине «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 11.03.04 «Электроника и наноэлектроника» в 7-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены современные вакуумно-плазменные (ионно-плазменных, плазмохимических, реактивно-ионных) технологии, применяемые или имеющие перспективы применения в производстве материалов и изделий электронной техники.
Виртуальная образовательная среда «Moodle»
Электронный учебник размещен по адресу http://edu.isuct.ru в категории ТП и МЭТ
(https://edu.isuct.ru/course/view.php?id=1713).
Для работы с электронным учебным материалом необходим персональный компьютер c установленным браузером. С данным пособием возможна дистанционная работа через Интернет.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
