Электронный учебник предназначен для сопровождения лабораторных занятий по дисциплине «Вакуумно-плазменные процессы и технологии», читаемой студентам направления подготовки 28.03.01 «Нанотехнологии и микросистемная техника» в 7-м учебном семестре.
В электронном учебнике представлены современные вакуумно-плазменные (ионно-плазменных, плазмохимических, реактивно-ионных) технологии, применяемые или имеющие перспективы применения в производстве материалов и изделий электронной техники.
Напишите нам по адресу: dvor@isuct.ru
