77

Актуальность разработки данного пособия определяется отсутствием в учебной литературе университета данных по математическому моделированию конкретных процессов технологии изготовления электронных приборов.

Данный электронный учебный комплекс подготовлен для студентов 5 курса специальности «Химическая технология монокристаллов, материалов и изделий электронной техники».
В пособии рассмотрены математические модели (реализованные с помощью MathCAD и Microsoft Excel) основных технологических процессов технологии изготовления современных интегральных схем .
Представлены математические модели процессов лазерного нагрева, ионной имплантации и окисленияп олупроводников, магнетронного рапыления материалов. Для каждого процесса приведены теоретические основы, контрольные вопросы для самопроверки, индивидуальные варианты заданий, справочная информация и математическая модель реализованная с помощью MathCAD или Microsoft Excel.

Содержание электронного учебного комплекса соответствует требованиям ГОС и учебному плану подготовки по специальности 210104.